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磁场发生/屏蔽和磁性测量系统 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
主动隔振平台(SEM/TEM/UHV-STM主动减振系统)
通常的被动减振体系如图所示,由需要减振的装置(mass M)和一个弹簧阻尼单元组成,它可以 减小来自地板的高频振动。但由于这种体系会在 本征频率时引起共振而增加振动,通常被动减振 体系会设计成 2 Hz 到 5 Hz 的本征频率和 1%到 5%的轻微阻尼。主动减振体系是用一个调节器代替了粘滞阻尼器,根据 sky-hook 阻尼控制理 论,将减振装置(mass M)绝对速度的比例量作 为反馈作用于减振装置,这样大大提高了减振的效果。 高级主动隔振系统采用先进的惯性振动传感器、先进的控制算法和最先进的压电致动器,通过连续测量地面活动,然后扩展和收缩压电致动器来过滤地面运动,以实时消除振动。 |
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